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举一反三
【简答题】离子注入的沟道效应
【多选题】抑制离子注入过程中的沟道效应的措施有（）。
A.
提高离子注入的速度
B.
衬底的预非晶化处理（破坏表面结晶层）
C.
偏转注入或倾斜硅片
D.
在衬底表面制作掩膜氧化薄层（非结晶材料），使入射离子进入硅晶体前无序化
【简答题】什么是离子注入时的沟道效应？列举出三种控制沟道效应的方法？
【简答题】（20分）南京见证了风云变幻的中国近代史，今天，南京已成为著名的旅游胜地。阅读下列有关南京的材料，根据要求回答问题：
材料一1997年7月1日，位于南京下关的静海寺内悬挂起一尊大铜钟。钟的主体高1．842米，……四周铸上许多“回”形图案，……现在，每天前来参观的人络绎不绝……每年8月29日，社会各界人士都要组织一次盛大的撞钟仪式，重温历史，警钟长鸣。静海寺因为浓缩着中国近代厚重历史成为南京这个历...
【多选题】抑制离子注入过程中的沟道效应的措施有（）。
A.
偏转注入或倾斜硅片
B.
在衬底表面制作掩膜氧化薄层（非结晶材料），使入射离子进入硅晶体前无序化
C.
提高离子注入的速度
D.
衬底的预非晶化处理（破坏表面结晶层）
【简答题】什么是离子注入中常发生的沟道效应(Channeling)和临界角?怎样避免沟道效应?
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