氮化硅（Si 3 N 4 ）是一种优良的高温结构陶瓷，在工业生产和科技领域有重要用途。 I．工业上有多种方法来制备氮氦化硅，常见的方法有： 方法一 直接氦化法：在1300~1400℃时，粉状硅与纯氦气化合，其反应方程式为 方法二 化学气相沉积法：在高温条件下利用四氯化硅气体、纯氦气、氢气反应生成氦化硅和HCl，与方法一相比，用此法制得的氦化硅纯度较高，其原因是 。 方法三  Si（NH­ 2 ） 4 热分解法：先用四氯化硅与氨气反应生成Si（NH­ 2 ） 4 和一种气体 （填分子式）；然后使Si（NH 2 ） 4 受热分解，分解后的另一种产物的分子式为 。 II．（1）氨化硅抗腐蚀能力很强，但易被氢氟酸腐蚀，氨化硅与氢氟酸反应生成四氟化硅和一种铵盐，此盐中存在的化学键类型有 。 （2）已知：25℃，101kPa条件下的热化学方程式： 3Si（s）+2N 2 （g）==Si 3 N 4 （s）  △H=—750.2kJ/mol Si（s）+2Cl 2 （g）==SiCl 4 （g）  △H=—609.6kJ/mol H 2 （g）+ Cl 2 （g）==HCl（g） △H=—92.3kJ/mol 请写出四氯化硅气体与氮气、氢气反应的热化学方程式： 。 III．工业上制取硅和四氯化硅的生产流程如下： 已知：X，硅、原料B的主要成分都可与Z反应，Y与X在光照或点燃条件下可反应，Z的焰色呈黄色。 （1）原料B的主要成分是 。 （2）写出焦炭与原料B中的主要成分反应的化学方程式： 。 （3）上述生产流程中电解A的水溶液时，阳极材料能否用Cu？ （填“能”或“不能”）。 写出Cu为阳极电解A的水溶液开始一段时间阴阳极的电极方程式： 阳极： ；阴极： 。